大陸EUV領域重大突破! 光源樣機曝光:國產化率高達90%

創立僅兩年的大陸半導體新秀「朗道科技」,近日在上海舉行的第二十六屆中國國際工業博覽會上,首次公開展示一台EUV光源系統樣機。陸媒指出,這是目前公開展示中「進度最靠前」的大陸國產EUV光源樣機,被稱作高端曝光機的「心臟」。 《詳全文...》

創立僅兩年的大陸半導體新秀「朗道科技」,近日在上海舉行的第二十六屆中國國際工業博覽會上,首次公開展示一台EUV光源系統樣機。陸媒指出,這是目前公開展示中「進度最靠前」的大陸國產EUV光源樣機,被稱作高端曝光機的「心臟」。 《詳全文...》