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繞開DUV曝光技術! 大陸另闢蹊徑發展「奈米壓印」
受到美國壓制影響,大陸難以取得高階半導體曝光機。如今,大陸正另闢蹊徑,尋求發展「奈米壓印」來繞開DUV曝光技術。不過中短期內,EUV在先進邏輯晶片領域的主導地位都不會被動搖。
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媒體來源:ETtoday - 2026-06-11 13:57:00 (18 天前)
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