台積電致力建立綠色循環體系，透過「電子級化學品回收計畫」成功再生異丙醇、四甲基氫氧化銨及環戊酮等化學品重回廠內使用。民國114年進一步針對黃光製程中廣泛應用的有機溶劑丙二醇甲醚及丙二醇甲醚醋酸酯，與供應商合作開發廢液再利用技術，運用「源頭分流管理、製程參數優化、成分圖譜比對」三大作業流程，將廢液再製為符合台積公司品質規格的電子級PGME／PGMEA；民國115年1月於晶圓十五B廠及晶圓十八A廠驗證成功，並將於第2季導入晶圓十四B廠、晶圓十五A廠、晶圓十五B廠、晶圓十八A廠、晶圓十八B廠使用，預計全面推行後 《詳全文...》