「台積電美廠」內部畫面曝光!銀色高速公路超壯觀 EUV如小宇宙

台積電(TSMC)罕見公布美國亞利桑那州「Fab 21晶圓廠」內部畫面,包括被形容為「銀色高速公路」(silver highway)的晶圓自動化物料搬運系統(AMHS),還有極紫外光(EUV)微影設備運作細節,宛如一個不斷閃耀著紫色電漿光芒的「小宇宙」。 《詳全文...》

台積電(TSMC)罕見公布美國亞利桑那州「Fab 21晶圓廠」內部畫面,包括被形容為「銀色高速公路」(silver highway)的晶圓自動化物料搬運系統(AMHS),還有極紫外光(EUV)微影設備運作細節,宛如一個不斷閃耀著紫色電漿光芒的「小宇宙」。 《詳全文...》