台積電創新電子級金屬材料循環再生 有望年減碳700公噸

台積電創新電子級金屬材料循環再生 有望年減碳700公噸
以實踐資源循環零廢棄為永續願景,台積電(2330)積極與供應商合作創新半導體製程材料回收與再利用,針對銅錳(CuMn)合金靶材開發純化再生技術,透過特殊表面化學處理與熔煉檢驗過程,移除靶材下機後殘留的汙染雜質,成功將殘靶再製為符合半導體製程規格的電子級銅錳合金靶材;截至民國113年10月,已導入台積電晶圓十五A廠、並於晶圓十四B廠進行驗證,預計全面導入海內外所有十二吋晶圓廠後,可年減碳逾700公噸,打造綠色責任供應鏈。 《詳全文...》

媒體來源:ETtoday - 2024-11-02 06:00:00 (21 天前)
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